湖南皓志科技股份有限公司最初于2005年在东莞成立，已经有近20年的抛光材料研发和生产经验。从液晶玻璃基板到手机盖板，再到精密光学玻璃，再到半导体硅片，以及正在兴起的第三代半导体碳化硅晶圆的抛光，都有湖南皓志的身影。近日，粉体圈走近湖南皓志，与半导体材料事业部刘军部长对话。深刻体会到皓志对抛光领域的认识，和对市场发展方向的把控能力。

从源头上掌控供应链，保持磨粒的一致性

对于粉体/颗粒产品一致性是最重要的应用指标，良好的产品一致性是下游客户工艺的稳定的保障。而抛光材料更是如此，不稳定的产品不仅会影响抛光效率，甚至会出现划伤加工对象，降低产品的成品率。对于氧化铈抛光粉，皓志有自己的窑炉产线，从源头上保证材料的稳定，严格的检测程序确保最终产品的一致性。这也是皓志能够赢得日本旭硝子株式会社和韩国三星等国外知名企业的长期合作的根本所在。

左：半导体材料事业部刘军部长

除了氧化铈，皓志也建立了自己的氧化铝抛光粉的生产线，从煅烧到粉碎、分级等完全自主可控，这也是皓志在蓝宝石抛光领域成绩显著的硬核。

半导体抛光领域，国内抛光企业依然有较大的成长空间

在传统的硅晶圆及其集成电路抛光领域，抛光工艺相对成熟，纳米氧化铝和氧化铈抛光材料想进入该领域较为困难。而第三代半导体碳化硅晶圆，由于硬度较高面临着更大的抛光问题，这也恰恰是国企抛光企业弯道超车的机遇。

目前，皓志科技已经成功研发氧化铝基的碳化硅粗抛液，D50在0.1-0.3μm，具有高效的去除速率，产品寿命长，抛光后的晶片表面缺陷少的特点。该产品为国内首创，突破国外先进抛光液工艺限制，填补了国内第三代半导体碳化硅晶片批量加工抛光液的技术空白。

精抛阶段采用皓志粒径段在80-120nm的硅溶胶抛光液，可以实现碳化硅晶片的表面粗糙度≤0.05nm，可见，皓志已经为碳化硅晶圆的抛光做好了功课。

半导体产业作为中美竞争的一个关键点，我们随时都会面临着被国外原材料供应商采取贸易措施断供的风险。而在半导体抛光领域，如何实现完全的独立自主，国内企业还有很多工作要做。我们期待具有弘浩之志的皓志科技能够在半导体领域取得更多、更好的突破，成为第三代半导体碳化硅晶片、集成电路等高端CMP抛光液领域全球领先的专业供应商。

终吉 来源：360powder.com

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