【全球首台商用高数值孔径极紫外光刻机（HighNAEUV）完成组装，一台重达

【全球首台商用高数值孔径极紫外光刻机（High NA EUV）完成组装，一台重达150吨】据外媒报道：美国俄勒冈州希尔斯伯勒的英特尔研发基地的研发人员已完成业界首台商用高数值孔径极紫外光刻机（High NA EUV）的组装。据了解，这台最新的光刻机总重量超过 150 吨，英特尔为将这台机器运至美国，先是分装于 250 多个货箱，然后集中装入 43 个集装箱，这43个集装箱由多架货机运送至西雅图，再用 20 辆卡车运输到俄勒冈州。据报道，目前，全球只有两台高数值孔径极紫外光刻机。