Hydronext凯发出高纯度氢气的大型精炼装置

东京的半导体太郎 2024-08-25 22:42:14
日本大分市的初创公司Hydronext开发了一种能够从含有杂质的混合气体中以低成本提取高纯度氢气的精炼装置。可以达到每分钟提取99.999999%的氢气86升。并计划在2025财年内向功率半导体制造商进行商品化推广。 该装置每小时的精炼能力为5Nm3。通过向含氢混合气体施加一定压力,仅氢原子透过金属膜,从而能够仅在一个工序内精炼出高纯度氢气。 该装置采用“金属膜分离法”,使用一种相对便宜的稀有金属材料“钒”作为基础的金属膜。尽管其他机构也在研究金属膜分离法,但多使用昂贵的稀有金属“钯”。该公司总裁永井正章表示,“如果使用钒,仅材料成本就可控制在钯的约1/600,从而实现高纯度氢气精炼的低成本化”。 氢气在半导体制造中的石英加工、晶圆基板表面处理、燃料电池、食品和化学品生产等多种领域中都得到了应用。尤其是在工业领域,高纯度氢气在电动汽车(EV)和通信基站等电力控制中不可或缺的电力半导体的质量提升方面的需求正在增长。 根据Hydronext的介绍,传统的通过使用各种吸附物质除去杂质的方法——“PSA法”,不仅设备庞大,为了提高纯度还需重复工序。因此,低成本高纯度氢气精炼装置的需求是显而易见的。 另一方面,大分市的工业园区企业群在生产活动中会大量产生含氢混合气体。当前,这些气体最终被燃烧用于动力等,而该公司构想将其作为高纯度氢气精炼的资源加以有效利用。 Hydronext成立于2015年,是一家不拥有工厂的无工厂企业。(源自日经新闻)

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