这两天,很多网友都在关注工信部发布的一个信息,《工业和信息化部关于印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》的通知》 其中网友重点关注的是推广国产氟化氩光刻机:分辨率≤65nm。 这表明,我们在光刻机领域又取得了突破。这也意味着,从理论上,我们可以制作7nm芯片。 这对荷兰ASML来讲,近期荷兰对华光刻机的出口限制,将会让ASML遭受更大的经济损失。 虽然国产氟化氩光刻机的套刻精度和分辨率指标从理论上讲,可以制造7nm芯片。但是在实际的芯片制造过程中,还受到很多因素的影响,例如多重曝光技术、光刻胶、刻蚀工艺等复杂因素的制约。 不管怎么说,对于中芯国际等国内芯片制造企业来讲,是一个好消息。对于国内芯片设计企业,尤其像华为这样受到美国打压和制裁的企业来讲,重要性不溢于言表。