德国亚琛开车一个小时就可以到荷兰的ASML。最近正好闲着就找在那里工作的朋友一起吃饭聊天。 聊到了关于目前光刻机的情况。朋友也稍微讲了一点。 [okR]首先ASML是很想卖EUV给我们，而且咱也是他们的大客户。前前后后，他们大概一共卖了近千台DUV和一些其他设备给我们。[失望R]居然这么多，我也很吃惊。 [okR]但是ASML必须听🇺🇸爸爸的话，因为ASML虽然可以组装EUV或DUV,对就是组装。因为整套设备有10万+的部件，荷兰自己只能制造32%，欧洲其他国家其实主要就是德国 提供了大概14%，主要是蔡司的镜头。美国和日本提供了其他的大部分部件。美国主要是simml的光源。 [okR]最近说咱可以自主生产193nm光源波长，套刻8nm的DUV。 这里的8nm不是指8nm芯片，而是overlay的误差是8nm。193nm光源理论可以做出8nm的芯片，但是要通过至少7次(2的7次方等于128)复刻(overlay)才可以达到8nm。而我们目前自主的光刻机每刻一次精度可以偏差可以控制在8nm而已。理论上可以生产8nm但是良率比较低和成本会比较高。 [okR]自主生产的机器，和ASML2006年的制造的Tiwnscan XT1450类似。但是XT1450的精度是7nm。比我们还要高。就设备而言，差距大概是18年。 明年ASML可能会减少售后服务和备件。但是咱最近一直在超量进口各种ASML的设备，估计一旦制裁，我们就可以拆机器来提供备件。 咋说呢，前途似锦，道路曲折。