华创夯实薄膜沉积 从2007年开始,半导体设备厂商前五名球员就已经固定了。第六位以下的排名每年都有很大变化,但自2016年以来,韩国SEMES一直进入前十。 2023年,中国北方华创首次排名第8,中国装备制造商首次进入前十名。中微2023年排名第17位,销量已经与尼康持平。 2012年,北方华创推出EPEE 550系列PECVD设备; 2019年推出EPEE i200/800系列PECVD设备; 2022年推出Lyra系列12英寸介质薄膜生长PECVD设备。 2024年10月,北方华创高均匀性、大产能12英寸等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备——Cygnus系列,已成功交付客户。