由于国外制裁,给国产芯片厂释放了巨大的市场,尤其华为的供应链,塞进去了一堆国产企业,这是国产芯片崛起最大的助力。 EUV方面,双工台、极紫外光源都已经有现成的了。用于制造极紫外光刻机(LPP-EUV)光源收集器的加工母机:大型立式超精密车床。技术来源自哈尔滨工业大学的技转授权。
由于国外制裁,给国产芯片厂释放了巨大的市场,尤其华为的供应链,塞进去了一堆国产企业,这是国产芯片崛起最大的助力。 EUV方面,双工台、极紫外光源都已经有现成的了。用于制造极紫外光刻机(LPP-EUV)光源收集器的加工母机:大型立式超精密车床。技术来源自哈尔滨工业大学的技转授权。