细数国内光刻机产业链：
1、光刻机整机：
上海微电子、大族激光
2、光刻机核心组件：
光源系统：英诺激光
物镜系统：茂莱光学
双工作台：华卓精科（未上市）
浸没系统：国科精密（未上市）
曝光系统：长光所（未上市）
光栅系统：苏大维格
控制系统：电科数字
3、光刻机配套设施：
光刻胶：华懋科技
掩膜板：汇成真空
涂胶显影：芯源微
细数国内光刻机产业链：1、光刻机整机：上海微电子、大族激光2、光刻机核心组件：光
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大族激光是来搞笑的吧