最先进的光刻机分为步进式投影光刻机和极紫外光刻机,大族激光正在同客户验证的就是其独立自主研发的步进式投影光刻机,步进式投影光刻机用途广泛且急需完成国产替代,可用于半导体分立器件等领域,与上海微电子一起助力我们的半导体产业崛起。
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