日本首台EUV光刻机将于12月抵达Rapidus

东京的半导体太郎 2024-11-21 15:31:05
Rapidus购买的极紫外(EUV)光刻机将于12月中旬运抵北海道新千岁机场。这是日本首次引进EUV光刻机,设备将通过多架大型货机分批运输。 EUV光刻机是最先端半导体量产不可或缺的设备,一台价格高达数百亿日元。Rapidus计划未来将运营多台光刻机。荷兰ASML已在北海道千岁市设立服务据点等,做好设备接收的准备工作。 新千岁机场的运营方北海道机场公司(千岁市)正与全日空控股等航空公司合作,为设备接收进行协调工作。为减少运输过程中的振动,机场内还对有高度差的路面进行了重新铺设。 Rapidus计划于2025年4月启动试生产线,并计划在工厂内安装包括EUV光刻机在内的共计200多台设备。据千岁市透露,截至10月底,工厂建设进度为63%,符合预定计划。截至11月中旬,约有4400名工人参与工厂的建设工作。(源自日经新闻)

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