金融界2024年11月30日消息,国家知识产权局信息显示,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请一项名为“一种半导体测试方法、电子设备、半导体检测系统及介质”的专利,公开号CN119044718A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本申请实施例提供了一种半导体测试方法、电子设备、半导体检测系统及介质,属于半导体测试技术领域。该方法包括:测量相邻待测单元之间的距离以确定目标距离,然后按照第一预设方向移动探针,同时按照第二预设方向移动载片台,且在探针脱离接触第一待测单元之后,按照第三预设方向移动载片台,检测到探针和载片台的相背间距大于或等于预设相背间距,则按照第二预设方向移动探针,且按照第一预设方向移动载片台,且载片台在向第三预设方向移动目标距离之后停止,然后根据探针的压力,确定接触结果,若接触结果表示探针与第二待测单元已接触到位,则停止探针和载片台,并利用探针对第二待测单元进行测试。本申请实施例能够提高半导体测试的效率。
本文源自:金融界