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国产28nm浸没式DUV光刻机成熟度大幅提升，已接近量产条件。。。国产EUV光刻

天上掉下昕妹妹 2024-12-26 11:13:01

国产28nm浸没式DUV光刻机成熟度大幅提升，已接近量产条件。。。

国产EUV光刻机计划明年试产，除光源系统独立开发外，其它部分在DUV光刻机上优化而来。。。

纯国产28nm产线同时在推，除光刻机外，SACVD，HDPCVD，高深宽比，电镀，OCD，高中大束流等还在搞定，以上关键设备国内设备商正在攻关。

国内7nm产能超过2万，7nm线包括很多美国设备，目前这些设备的零部件被全面封锁，短期问题不大，中长期问题很大。。。

1 阅读：4238

评论列表

轻舟已过万重山 25

2024-12-27 05:14

扯淡吗吧，DUV用浸润减少波长，EUV完全和DUV不通，不能穿透液体和玻璃，不能用透镜，只能用反射镜。

TilanMartin 回复:

只会做1+1=2，不会做x^0+y^0=2🐶

12-28 15:19

用户10xxx33 回复:

浸润式duv有啥问题，25年肯定能量产。64纳米非浸润式duv24年已经量产进入工信部推荐名录

01-01 10:03
xbyf 18

2024-12-27 23:01

光刻机高端芯片包括超算，我们现在都是只做不说。能公开的信息至少都是一两年前的数据。华为受到了全面制裁，依然能够生产出全球独有的3.6毫米超薄三折叠手机，和强的飞起的M70，里面的芯片有多高端？你们猜去吧。

奶爸2019 回复:

我不能我也不会只泼冷水

12-30 07:23

半城烟沙回复: 奶爸2019

应该一起吹是吧？科技能吹出来吗？

12-30 08:38
葱葱那年 15

2024-12-26 22:08

丑国再次吃瘪[哭笑不得]
用户10xxx33 5

2025-01-01 10:04

浸润式duv有啥问题，25年肯定能量产。64纳米非浸润式duv24年已经量产进入工信部推荐名录。在duv上调试的又没有光源，这篇文章其实没有啥不合逻辑的。
八神 4

2024-12-28 01:48

半懂不懂，别扯淡
歪理鞋说 2

2024-12-27 23:20

只要是人的问题，都可以解决，除非是神的问题
大飞 2

2024-12-28 08:08

28nm都出口几件了，你现在信息滞后了
小心心 1

2025-01-02 00:43

装模作样傻不拉叽

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