芯片概念产业链（一）

一、设备

1）光刻机：上海微电子（未上市，张江高科）。

2）刻蚀机：中微公司、北方华创。

3）薄膜沉积设备：北方华创、拓荆科技。

二、材料

4）硅片：沪硅产业、中环股份。

三、设计

5）EDA工具：华大九天、广立微、概伦电子、安路科技、华润微。

6）IP核：芯原股份、国科微。

四、制造

7）晶圆制造：中芯国际、华虹半导体、士兰微、华润微、赛微电子、扬杰科技。

五、封测

8）封装测试：通富微电、华天科技、长电科技、太极实业、晶方科技、深科技、华微电子、华润微、赛腾股份。

六、材料

9）光刻胶：晶瑞股份、陶氏化学、科华微电子、旭成化。

10）电子气体：雅克科技、华特气体。

11）抛光材料：安集科技、鼎龙股份。

12）靶材：江丰电子、阿石创。

13）高纯试剂：上海新阳、江化微。

七、设备

14）CMP机械抛光设备：华海清科、盛美上海。

15）前道检测设备：中科飞测、精测电子、上海睿励、长川科技、华峰测控。