金融界2025年1月4日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司取得一项名为“半导体光刻的具有改进的部件调节的投射曝光设备、以及调节方法”的专利，授权公告号CN111602091B，申请日期为2018年12月。
本文源自：金融界
卡尔蔡司SMT取得半导体光刻的具有改进的部件调节的投射曝光设备及调节方法专利
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金融界2025年1月4日消息，国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司取得一项名为“半导体光刻的具有改进的部件调节的投射曝光设备、以及调节方法”的专利，授权公告号CN111602091B，申请日期为2018年12月。
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