哈工大最近搞了个大新闻，他们在研究可控核聚变的时候，顺便解决了EUV光刻机的一个关键技术难题。我们知道ASML的EUV光刻机用的是13.5纳米波长的极紫外光源，这东西对制造高端芯片特别重要。现在哈工大不用ASML那一套，自己整出了一个叫“放电等离子体”的新方法，也能得到13.5纳米的极紫外光。 具体怎么做的呢？他们用强电流穿过像锡这样的金属蒸汽，瞬间加热到超级高温，这样就形成了等离子体。这些等离子体在冷却的时候会发出特定波长的光，正好是咱们需要的13.5纳米极紫外光。这个过程有点像打雷时产生的闪电，只不过他们是人为控制的，所以叫做“Z箍缩”。 说到这儿，你可能会问这和核聚变有啥关系？其实原理上有相通的地方，都是通过强大的电流来产生高温高压环境，让物质变成等离子体状态。哈工大的这项技术就是借鉴了这一点，实现了EUV光源的自制。 至于为啥这项技术只拿了省级奖，可能是因为咱们国家现在更关注其他更紧迫的技术突破吧，毕竟科技发展日新月异，每个阶段都有不同的重点。 素材来自网络，如有侵权请及时联系删除
是省级奖，我就放心了[滑稽笑]
哈工大：不好意思哈，顺手拿了个奖。
已经有更先进的了
更强大的受激晶体十几年前就研制出来了。估计是激光炮专用的
光刻机的光源关键是要稳定输出。
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说的乱七八糟
省级奖 是怕你骄傲
更为关心的是：有光源了能不能制造出光刻机
紫外线为啥配紫色？
小编胡说八道，文科生没判断力
现在又开始吹哈工大了。垃圾小编上面说的技术是阿斯麦尔的。然后再顺便吹一下核聚变。首先来一招偷梁换柱，接着再来一招石破天惊。你赢了。
当今中国没有比解决光刻机问题更重要的事了，涉及到国家前途问题了，还有什么比这还重要
注意保密。（广西梧州覃春铭）
估计这小编当年没少发提头来见
原理一样
省比小国都大，当然有含金量了
光刻四大件齐活儿了，适配成功就能量产了……
荷兰面积也没有黑龙江省大，所以省级奖等于国家奖！
有没有可能这个发现不具备实用价值？？
又放卫星
傻缺，锡等离子技术是ASML的专利，哈工大用的不是这个，你想知道用的什么材料？就不说，急死你。
现在的技术好像是用激光脉冲，照射微小锡滴。
[滑稽笑][滑稽笑][滑稽笑]
重点是 哈工大
再放点作料:马院士+六代机+房地产+爆震发动机，最后是什么？是登月？
这种光源稳定不？
卧槽，省级奖！幸亏不是市级奖[哭笑不得][哭笑不得]
[静静吃瓜]
[静静吃瓜]
看看用其他物质能不能发出更短的波长。
呃，各位要不要看看正经科普，这实现原理是不就是现在euv光源的过程么…AI抓取错误了？
这就教会我们了，把目标搞高点，，有意想不到的好处
不可能核聚变可控的，你能达到光速吗，你能达到绝对零度吗
省级奖是在国家科学技术将评定之前评出的，省里会推荐到国家级评定的，这是个程序问题。
目前功率还差不少，阿斯迈euv光源功率500 w以上，这个目前攻略45w，还需要想办法解决这个问题，才能商用。
估计还没等到国家评奖的时候，先顺便拿个省级奖！