哈工大把事情闹大了，原来麒麟9020只是烟雾弹，美国和台积电气的手抖。

美国针对中兴后，才发现比中兴更厉害的是华为，然后从2019年开始，美西方几乎把所有精力都用在断供华为上，目的就是让这家高科技公司从此消失，所以又是断芯片又是断系统，又是断架构又是断市场，甚至连已经安装好的5G设备都拆了。讽刺的是，美国断供的所有东西，最后都被华为突破，麒麟芯片不需要台积电也能生产，芯片架构和系统都是自研的，另外市场并没有缩小，华为通信设备依旧卖给全球各国。现在美国对华为的技术封锁主要表现在EUV光刻机，也就是严防死守EUV光刻机或者DUV部分核心零部件卖给我国，就是防止麒麟芯片突破5nm及以下工艺制程。

然而哈工大突然官宣13.5nm极紫外光源，让美国发现过去几年来把所有精力放在华为和中芯国际上是完全错误的，真是伤害不大侮辱性极强，没把华为摁下去就算了，哈工大还成功利用电能产能等离子体，这种等离子体可以产生13.5nm极紫外光源，简直不给美国一点面子。中微董事长尹志尧说，目前极紫外光的波长限制在13.5nm，这种光源只能做14nm的线条，而大家经常说的7nm、5nm芯片，主要是把20nm线条，进行“翻版”成两个10nm线条，再翻版一次就可以得到5nm线条，这个翻版过程并不需要光刻机，而是用等离子刻蚀机和薄膜。

这次哈工大通过其它技术获得13.5nm极紫外光源，而中微电子在离子刻蚀机和薄膜设备上有所突破，意味着只要二者强强联手，国产EUV光刻机落地也就这几年的事实。现在可以说美国和台积电急的想骂人，因为我国一旦突破，ASML会瞬间失去全球垄断地位，最近我国出口28nm光刻机都让ASML坐不住了，可想而知如果国产EUV落地，那ASML注定开始没落。