我国成功研发出全固态DUV光源技术：不同于ASML，可生产3nm
虽然中国科学院的初步技术展示了可行性，但这一创新成果也存在着一定缺点：该固态激光器的功率只有70mW，而商用准分子激光器的功率为100-120W。
这意味着，目前的低功率输出使其还无法满足商业化半导体制造的需求，还需经历多代技术开发与提升。
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看图片也是之前的报道
不知道后续情况怎么样
我国成功研发出全固态DUV光源技术：不同于ASML，可生产3nm虽然中国科学院的
猫在飞
2025-03-26 11:41:51
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