盛美布局清洗设备、电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备、Track设备、PE

高旭的世界 2025-03-29 09:51:13

盛美布局清洗设备、电镀设备、先进封装湿法设备、立式炉管设备、Track设备、PECVD设备和面板级封装设备七大板块。 2022年12月，盛美推出了自研的Ultra Pmax PECVD设备。 2022年，推出Ultra Fn A热原子层沉积炉设备。 2024年，推出Ultra Fn A等离子增强型原子层沉积炉管设备。 2024年11月，盛美Ultra C Tahoe专利混合架构实现将槽式清洗模块和单片晶圆清洗腔体结合到同一SPM设备中。

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