1、CMP抛光垫是实现平坦化抛光的核心要件之一
在晶圆进行化学机械抛光过程中,CMP抛光垫的作用主要有:存储CMP抛光液及输送 CMP 抛光液至抛光区域,使抛光持续均匀的进行,之后去除所需的机械负荷,并将抛光过程中产生的副产品(氧化产物、抛光碎屑等)带出抛光区域,形成一定厚度的CMP抛光液层,为抛光过程中化学反应和机械去除提供场所。CMP抛光垫通过影响抛光液的流动和分布,决定抛光效率和表面平坦性,对实现晶圆平坦化至关重要。
抛光垫按照材质结构分类
分类标准
分类名称
按是否含有磨料
磨料抛光垫
无磨料抛光垫
按基材
聚氨酯抛光垫
无纺布抛光垫
复合型抛光垫
按表面结构
平面型抛光垫
网格型抛光垫
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抛光材料考量标准
标准
解释说明
平均磨除率
在标准时间内磨除材料的厚度
平整度和均匀性
平整度是硅片某处CMP前后台阶高度之差占CMP前台阶高度的百分比
选择比
对不同材料的抛光速率是影响硅片平整度和均匀性的重要因素
表面缺陷
CMP工艺造成的硅片表面缺陷包括擦伤或沟、凹陷、侵蚀、残留物和颗粒污染
设备过程变量
作用压力、硅片和CMP抛光垫之间的相对速度、抛光时间、抛光区域温度及分布
硅片
表面应力分布、图案密度、形状
CMP抛光液
化学性质、成分、PH值、粘度、温度、供给速度、磨粒尺寸、分布、硬度、形状
CMP抛光垫
材料、密度、物理化学性质、硬度、厚度、粗糙度、结构、表面形态、稳定性
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2、CMP材料需求量大幅提升,我国CMP抛光垫市场规模逐年上升
受益于3D NAND及先进制程工艺快速发展,CMP材料需求量大幅提升,推动CMP抛光垫市场规模逐年上升。根据数据显示,2021年全球抛光垫市场规模达到11.3亿美元,同比增长10.78%,2016-2021年CARG为11.69%。同期,中国抛光垫市场规模也在持续增长,2016-2021年市场规模由8.1亿元提升至13.1亿元,并且随着国内晶圆厂持续扩产扩建,需求增速明显高于全球平均增速水平。
数据来源:观研天下整理
数据来源:观研天下整理
3、CMP抛光垫具有较高壁垒,陶氏杜邦一家独大
抛光垫具有较高的技术、人才和专利壁垒,开发需要结合有机、高分子、才来科学、粉体技术、精密加工等学科,技术难度高。目前,我国抛光垫专利集中于应用领域,侧重研究如何改进抛光垫沟槽设计以及改善抛光方法和抛光效果,在抛光垫的制作方法及材料方面专利很少。
抛光垫产品大致分为硬垫和软垫两种,硬垫不同的技术节点对于抛光垫的变化较小,所以龙头公司容易保持产品的一致性与稳定性。目前,全球CMP抛光垫市场杜邦公司市占率高达79%,行业呈现一家独大的格局。
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杜邦公司CMP抛光垫产品简介
品牌
介绍
IC1000™
用于化学机械平坦化(CMP)的IC1000™系列垫,被认为是行业标准。
Ikonic™
专为高级节点设计的突破性焊盘平台。
OPTIVISION™
用于化学机械平坦化(CMP)的Optivision™垫系列是杜邦的第二代软垫,它改进了Politex™垫的性能,旨在降低成本。
Optivision™Pro
用于化学机械平坦化(CMP)的Optivision™Pro系列抛光垫是杜邦在新平台上制造的第三代软垫,可促进高级抛光。
POLITEX™
用于化学机械平坦化(CMP)的Politex™垫系列用于铜阻挡层、抛光和清洁应用,Politex™垫是行业标准的软垫。
SUBA™
杜邦的Suba™抛光垫是化学机械平坦化(CMP)抛光垫,用于库存抛光、中间抛光和最终抛光。
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4、鼎龙股份实现抛光垫领域突破,国产企业破茧而出
不过,鼎龙股份攻坚克难,成为国内唯一一家全面掌握抛光垫全流程核心研发和制造技术的CMP抛光垫国产供应商,实现中国抛光垫领域从零到一的突破,国产企业破茧而出。
国内外CMP抛光垫主要生产企业及简介
名称
公司介绍
杜邦DuPont
杜邦是化学机械平坦化(CMP)抛光垫、浆料和应用专业知识的全球领导者,服务于半导体芯片制造行业和其他先进的基板抛光应用,2019年CMP抛光垫产品占全球市场份额75%以上。
Thomas westInc
成立于1981年,开始是提供用于硬盘驱动器(HDD)的抛光、纹理化和擦拭胶带,2000年推出CMP抛光垫产品。CMP抛光垫系列产品包括PuRa、WestPad。
CMC Materials
CMC Materials原名卡博特微电子公司,是一家为半导体制造提供关键材料的全球供应商。CMP抛光垫采用先进的聚氨酯化学和工程技术制造,可提供精确的硬度、孔径、可压缩性和凹槽图案,以满足各种CMP应用的要求。CMP抛光垫系列产品包括NexPlanar®、MEDEA、Epic™、EpicPower。
3M
3M公司创建于1902年,可提供创新、可靠的半导体CMP材料解决方案,包括CMP研磨垫和CMP研磨盘等。
富士纺FUJIBO
富士纺是半导体产业链重要供货商,主要开发高附加价值的研磨材料及CMP制程中使用的抛光垫。POLYPAS®抛光垫专为硅片和各类半导体材料、金属、玻璃等的超高精度抛光而设计。
JSR
JSR利用在石油化学事业中积累的高分子技术,开发用于半导体制造的材料,如光刻胶、化学机械平坦化(CMP)材料等,于2002年开始生产CMP抛光垫,由其位于四日市工厂内的子公司ElastomixCo.,Ltd.生产。
东丽Toray
日本东丽主要提供采用业界知名的不织布为底布的绒面抛光布以及精密单结构的聚氨脂抛光垫类型,可应用于各种精密加工抛光,包括硅片(晶圆),其CMP抛光垫产品于2006年开始出货。
Nitta DuPont
NITTA DuPont Incorporated于1983年由工业皮带市场的领先公司NITTA Corporation和半导体器件工艺抛光垫的顶级制造商RodelInc.(现为杜邦)共同创立,双方各持50%股份。
NITTA
DuPont生产抛光材料,产品包括用于CMP工艺的抛光垫、抛光液和其他相关材料。
FNSTech
FNSTechCo.成立于2002年3月,于2013年10月开始半导体CMP抛光垫业务。2021年,FNSTech与三星电子合作开发了CMP抛光垫可重复再利用技术。
SKC
SKC成立于1976年,在存储介质和聚氨酯事业领域累积的技术能力,奠定了研发半导体专业材料CMP抛光垫和空白光掩膜的基础,为半导体制造提供CMP抛光垫、CMP抛光液以及空白光掩膜等产品。
KPXchemical
成立于1974年7月,生产和供应各种国际水平的聚醚多元醇产品,2004年开始进军电子材料事业(CMP抛光垫、光刻胶剥离剂等),开发有聚氨酯制成的CMP抛光垫KONI系列。
智胜科技股份有限公司(iVT)
智胜科技股份有限公司创立于2002年,主要从事半导体CMP耗材。集团母公司PVI是做PU原料的专家,基于对PU原料技术厚实的经验,在2002年成立智胜科技iVT,正式踏入CMP抛光垫制造领域。
贝达先进材料公司(三芳化学)
贝达先进材料公司成立于2006年,是三芳化学子公司,应用特有的专利技术,专注研发、设计、测试与加工制造高精密度研磨抛光垫,产品应用于微电子、显示器、光学、晶体衬底材料与硬盘基版等各种需要精密化学机械研磨抛光(CMP)的产业。
湖北鼎龙控股
成立于2000年,是一家从事集成电路芯片设计及制程工艺材料、光电显示材料、打印复印通用耗材等研发、生产及服务的高新技术企业,是国内CMP抛光垫领先供应商。
苏州观胜半导体科技有限公司
苏州观胜半导体科技有限公司于2017年07月24日成立,公司经营范围包括:半导体集成电路和芯片相关材料的生产、技术研发、技术咨询、技术服务和上述同类产品的批发、进出口及佣金代理(不含拍卖)
资料来源:观研天下整理(WYD)
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观研报告网发布的《中国CMP抛光垫行业发展趋势分析与未来投资预测报告(2024-2031年)》涵盖行业最新数据,市场热点,政策规划,竞争情报,市场前景预测,投资策略等内容。更辅以大量直观的图表帮助本行业企业准确把握行业发展态势、市场商机动向、正确制定企业竞争战略和投资策略。本报告依据国家统计局、海关总署和国家信息中心等渠道发布的权威数据,结合了行业所处的环境,从理论到实践、从宏观到微观等多个角度进行市场调研分析。
行业报告是业内企业、相关投资公司及政府部门准确把握行业发展趋势,洞悉行业竞争格局,规避经营和投资风险,制定正确竞争和投资战略决策的重要决策依据之一。本报告是全面了解行业以及对本行业进行投资不可或缺的重要工具。观研天下是国内知名的行业信息咨询机构,拥有资深的专家团队,多年来已经为上万家企业单位、咨询机构、金融机构、行业协会、个人投资者等提供了专业的行业分析报告,客户涵盖了华为、中国石油、中国电信、中国建筑、惠普、迪士尼等国内外行业领先企业,并得到了客户的广泛认可。
【目录大纲】
第一章 2019-2023年中国CMP抛光垫行业发展概述
第一节 CMP抛光垫行业发展情况概述
一、CMP抛光垫行业相关定义
二、CMP抛光垫特点分析
三、CMP抛光垫行业基本情况介绍
四、CMP抛光垫行业经营模式
1、生产模式
2、采购模式
3、销售/服务模式
五、CMP抛光垫行业需求主体分析
第二节 中国CMP抛光垫行业生命周期分析
一、CMP抛光垫行业生命周期理论概述
二、CMP抛光垫行业所属的生命周期分析
第三节 CMP抛光垫行业经济指标分析
一、CMP抛光垫行业的赢利性分析
二、CMP抛光垫行业的经济周期分析
三、CMP抛光垫行业附加值的提升空间分析
第二章 2019-2023年全球CMP抛光垫行业市场发展现状分析
第一节 全球CMP抛光垫行业发展历程回顾
第二节 全球CMP抛光垫行业市场规模与区域分布情况
第三节 亚洲CMP抛光垫行业地区市场分析
一、亚洲CMP抛光垫行业市场现状分析
二、亚洲CMP抛光垫行业市场规模与市场需求分析
三、亚洲CMP抛光垫行业市场前景分析
第四节 北美CMP抛光垫行业地区市场分析
一、北美CMP抛光垫行业市场现状分析
二、北美CMP抛光垫行业市场规模与市场需求分析
三、北美CMP抛光垫行业市场前景分析
第五节 欧洲CMP抛光垫行业地区市场分析
一、欧洲CMP抛光垫行业市场现状分析
二、欧洲CMP抛光垫行业市场规模与市场需求分析
三、欧洲CMP抛光垫行业市场前景分析
第六节 2024-2031年世界CMP抛光垫行业分布走势预测
第七节 2024-2031年全球CMP抛光垫行业市场规模预测
第三章 中国CMP抛光垫行业产业发展环境分析
第一节 我国宏观经济环境分析
第二节 我国宏观经济环境对CMP抛光垫行业的影响分析
第三节 中国CMP抛光垫行业政策环境分析
一、行业监管体制现状
二、行业主要政策法规
三、主要行业标准
第四节 政策环境对CMP抛光垫行业的影响分析
第五节 中国CMP抛光垫行业产业社会环境分析
第四章 中国CMP抛光垫行业运行情况
第一节 中国CMP抛光垫行业发展状况情况介绍
一、行业发展历程回顾
二、行业创新情况分析
三、行业发展特点分析
第二节 中国CMP抛光垫行业市场规模分析
一、影响中国CMP抛光垫行业市场规模的因素
二、中国CMP抛光垫行业市场规模
三、中国CMP抛光垫行业市场规模解析
第三节 中国CMP抛光垫行业供应情况分析
一、中国CMP抛光垫行业供应规模
二、中国CMP抛光垫行业供应特点
第四节 中国CMP抛光垫行业需求情况分析
一、中国CMP抛光垫行业需求规模
二、中国CMP抛光垫行业需求特点
第五节 中国CMP抛光垫行业供需平衡分析
第五章 中国CMP抛光垫行业产业链和细分市场分析
第一节 中国CMP抛光垫行业产业链综述
一、产业链模型原理介绍
二、产业链运行机制
三、CMP抛光垫行业产业链图解
第二节 中国CMP抛光垫行业产业链环节分析
一、上游产业发展现状
二、上游产业对CMP抛光垫行业的影响分析
三、下游产业发展现状
四、下游产业对CMP抛光垫行业的影响分析
第三节 我国CMP抛光垫行业细分市场分析
一、细分市场一
二、细分市场二
第六章 2019-2023年中国CMP抛光垫行业市场竞争分析
第一节 中国CMP抛光垫行业竞争现状分析
一、中国CMP抛光垫行业竞争格局分析
二、中国CMP抛光垫行业主要品牌分析
第二节 中国CMP抛光垫行业集中度分析
一、中国CMP抛光垫行业市场集中度影响因素分析
二、中国CMP抛光垫行业市场集中度分析
第三节 中国CMP抛光垫行业竞争特征分析
一、 企业区域分布特征
二、企业规模分布特征
三、企业所有制分布特征
第七章 2019-2023年中国CMP抛光垫行业模型分析
第一节 中国CMP抛光垫行业竞争结构分析(波特五力模型)
一、波特五力模型原理
二、供应商议价能力
三、购买者议价能力
四、新进入者威胁
五、替代品威胁
六、同业竞争程度
七、波特五力模型分析结论
第二节 中国CMP抛光垫行业SWOT分析
一、SOWT模型概述
二、行业优势分析
三、行业劣势
四、行业机会
五、行业威胁
六、中国CMP抛光垫行业SWOT分析结论
第三节 中国CMP抛光垫行业竞争环境分析(PEST)
一、PEST模型概述
二、政策因素
三、经济因素
四、社会因素
五、技术因素
六、PEST模型分析结论
第八章 2019-2023年中国CMP抛光垫行业需求特点与动态分析
第一节 中国CMP抛光垫行业市场动态情况
第二节 中国CMP抛光垫行业消费市场特点分析
一、需求偏好
二、价格偏好
三、品牌偏好
四、其他偏好
第三节 CMP抛光垫行业成本结构分析
第四节 CMP抛光垫行业价格影响因素分析
一、供需因素
二、成本因素
三、其他因素
第五节 中国CMP抛光垫行业价格现状分析
第六节 中国CMP抛光垫行业平均价格走势预测
一、中国CMP抛光垫行业平均价格趋势分析
二、中国CMP抛光垫行业平均价格变动的影响因素
第九章 中国CMP抛光垫行业所属行业运行数据监测
第一节 中国CMP抛光垫行业所属行业总体规模分析
一、企业数量结构分析
二、行业资产规模分析
第二节 中国CMP抛光垫行业所属行业产销与费用分析
一、流动资产
二、销售收入分析
三、负债分析
四、利润规模分析
五、产值分析
第三节 中国CMP抛光垫行业所属行业财务指标分析
一、行业盈利能力分析
二、行业偿债能力分析
三、行业营运能力分析
四、行业发展能力分析
第十章 2019-2023年中国CMP抛光垫行业区域市场现状分析
第一节 中国CMP抛光垫行业区域市场规模分析
一、影响CMP抛光垫行业区域市场分布的因素
二、中国CMP抛光垫行业区域市场分布
第二节 中国华东地区CMP抛光垫行业市场分析
一、华东地区概述
二、华东地区经济环境分析
三、华东地区CMP抛光垫行业市场分析
(1)华东地区CMP抛光垫行业市场规模
(2)华东地区CMP抛光垫行业市场现状
(3)华东地区CMP抛光垫行业市场规模预测
第三节 华中地区市场分析
一、华中地区概述
二、华中地区经济环境分析
三、华中地区CMP抛光垫行业市场分析
(1)华中地区CMP抛光垫行业市场规模
(2)华中地区CMP抛光垫行业市场现状
(3)华中地区CMP抛光垫行业市场规模预测
第四节 华南地区市场分析
一、华南地区概述
二、华南地区经济环境分析
三、华南地区CMP抛光垫行业市场分析
(1)华南地区CMP抛光垫行业市场规模
(2)华南地区CMP抛光垫行业市场现状
(3)华南地区CMP抛光垫行业市场规模预测
第五节 华北地区CMP抛光垫行业市场分析
一、华北地区概述
二、华北地区经济环境分析
三、华北地区CMP抛光垫行业市场分析
(1)华北地区CMP抛光垫行业市场规模
(2)华北地区CMP抛光垫行业市场现状
(3)华北地区CMP抛光垫行业市场规模预测
第六节 东北地区市场分析
一、东北地区概述
二、东北地区经济环境分析
三、东北地区CMP抛光垫行业市场分析
(1)东北地区CMP抛光垫行业市场规模
(2)东北地区CMP抛光垫行业市场现状
(3)东北地区CMP抛光垫行业市场规模预测
第七节 西南地区市场分析
一、西南地区概述
二、西南地区经济环境分析
三、西南地区CMP抛光垫行业市场分析
(1)西南地区CMP抛光垫行业市场规模
(2)西南地区CMP抛光垫行业市场现状
(3)西南地区CMP抛光垫行业市场规模预测
第八节 西北地区市场分析
一、西北地区概述
二、西北地区经济环境分析
三、西北地区CMP抛光垫行业市场分析
(1)西北地区CMP抛光垫行业市场规模
(2)西北地区CMP抛光垫行业市场现状
(3)西北地区CMP抛光垫行业市场规模预测
第十一章 CMP抛光垫行业企业分析(随数据更新有调整)
第一节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
1、主要经济指标情况
2、企业盈利能力分析
3、企业偿债能力分析
4、企业运营能力分析
5、企业成长能力分析
四、公司优 势分析
第二节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优劣势分析
第三节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第四节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第五节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第六节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第七节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第八节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第九节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第十节 企业
一、企业概况
二、主营产品
三、运营情况
四、公司优势分析
第十二章 2024-2031年中国CMP抛光垫行业发展前景分析与预测
第一节 中国CMP抛光垫行业未来发展前景分析
一、CMP抛光垫行业国内投资环境分析
二、中国CMP抛光垫行业市场机会分析
三、中国CMP抛光垫行业投资增速预测
第二节 中国CMP抛光垫行业未来发展趋势预测
第三节 中国CMP抛光垫行业规模发展预测
一、中国CMP抛光垫行业市场规模预测
二、中国CMP抛光垫行业市场规模增速预测
三、中国CMP抛光垫行业产值规模预测
四、中国CMP抛光垫行业产值增速预测
五、中国CMP抛光垫行业供需情况预测
第四节 中国CMP抛光垫行业盈利走势预测
第十三章 2024-2031年中国CMP抛光垫行业进入壁垒与投资风险分析
第一节 中国CMP抛光垫行业进入壁垒分析
一、CMP抛光垫行业资金壁垒分析
二、CMP抛光垫行业技术壁垒分析
三、CMP抛光垫行业人才壁垒分析
四、CMP抛光垫行业品牌壁垒分析
五、CMP抛光垫行业其他壁垒分析
第二节 CMP抛光垫行业风险分析
一、CMP抛光垫行业宏观环境风险
二、CMP抛光垫行业技术风险
三、CMP抛光垫行业竞争风险
四、CMP抛光垫行业其他风险
第三节 中国CMP抛光垫行业存在的问题
第四节 中国CMP抛光垫行业解决问题的策略分析
第十四章 2024-2031年中国CMP抛光垫行业研究结论及投资建议
第一节 观研天下中国CMP抛光垫行业研究综述
一、行业投资价值
二、行业风险评估
第二节 中国CMP抛光垫行业进入策略分析
一、行业目标客户群体
二、细分市场选择
三、区域市场的选择
第三节 CMP抛光垫行业营销策略分析
一、CMP抛光垫行业产品策略
二、CMP抛光垫行业定价策略
三、CMP抛光垫行业渠道策略
四、CMP抛光垫行业促销策略
第四节 观研天下分析师投资建议
图表详见报告正文······