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国产EUV光源相关[并不简单]注意申请时间[阴险]图源B站

利益慢 2024-09-18 17:41:32

国产EUV光源相关 [并不简单]

注意申请时间 [阴险]

图源B站

0 阅读：159

评论列表

用户13xxx86 2

2024-09-19 05:41

多如牛毛的理工男还愁弄不出这东西？
陆旺 1

2024-09-18 19:25

cool，打那帮鸟人的脸。
阿牛 1

2024-09-18 21:07

有了光源，估计EUV比湿发DUV出来的更早～如果能有消费比高的，估计直接淘汰湿发DUV～

kingw 回复:

浸没式光刻本来就是解决不了光源，然后用水折射减小波长的替代手段。如果能搞出110纳米的光源（极紫外起步价），效果就已经超过浸没式（折射后波长137纳米）。

09-19 19:49

用户12xxx24 回复: kingw

你要知道关键不是波长而是筛选出正确波长。哪里是激光里面也有很多杂波…

09-19 20:22

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