2019年12月ASML：“就算给全套图纸，中国也造不出光刻机” 2023年1月ASML：“单一国家想要建立晶片产业极其困难” 2023年6月ASML：“中国自研光刻机的行为会给全球产业链带来破坏” 2023年9月ASML：“孤立中国没有希望，只会迫使他们提升创新能力” 2024年9月2日：工业和信息化部关于印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》，里面提到了两款国产光刻机，分别是氟化氪（KrF）和氟化氩（ArF）光刻机。 前者分辨率≤110nm，套刻≤25nm； 后者分辨率≤65nm，套刻≤8nm。 苛兰ASML，迎接挑战吧……