张江高科icon：参股了上海微电子。上海电气icon：母公司为上海微电子第一大股东
奥普光电icon：长春光机所为公司实际控制人
茂莱光学icon:公司为光刻机光学系统提供光学器件。
波长光电icon:公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。
东方嘉盛icon:公司提供光刻机寄售维修服务。
蓝英装备icon:公司精密清洗设备客户包括光刻机制造企业icon的合资(参股)公司。
福晶科技icon:通过欧洲icon代理向ASML销售少量光学元件。
腾景科技:公司合分束器项目应用于光刻机光学系统。
炬光科技icon:公司为半导体光刻应用领域提供光场匀化器。
晶方科技icon:公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂。
美埃科技:公司为上海微电子提供光刻设备所需的洁净过滤产品。
国林科技icon:产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。苏大维格icon：公司向上海微电子提供了其半导体领域投影式光刻机用的定位光栅部件富创精密icon：半导体零部件营收规模A股第一，为12.9亿
新莱应材icon：半导体零部件营收规模A股第二，为7.1亿彤程新材icon：ArF光刻胶已批量出货，预计多支ArF/ArFi产品将在下半年逐步实现量产导入
南大光电icon：公司目前有三款自主研发的ArF光刻 胶产品通过了客户使用验证
容大感光icon：95.28%的收入来自PCB光刻胶，仅有3.71%的收入来自显示用光刻胶及半导体光刻胶。
晶瑞电材icon：公司共拥有5台机相关设备 分别用于ArF等产品的研发以及量产
上海新阳icon：公司ArF产品还在验证中 KrF产品已有销售
