阿斯麦尔（ASML）光刻机举多国之力打造。
中国光刻机只能是举本国之力追赶。
哈工大官宣搞定13.5nm极紫外光源……EUV光刻机迎来曙光！
一家企业再牛逼也不可能搞定光刻机，功劳薄多感谢默默付出的国家单位吧。沸腾的姿势都不对可还行？
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