纯预测SMIC在没有EUV光刻机的前提，应该如何走到N5工艺，可以做以下假设..

嘉敏说科技 2025-01-21 12:48:50

纯预测SMIC在没有EUV光刻机的前提，应该如何走到N5工艺，可以做以下假设...

参考英特尔的路线，靠DUV光刻机做i-SAQP，使得MMP从40nm→30nm，这样能迈入N5的节点。

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