AOI设备分为四道光检： 第一道光检是晶圆检测； 第二道光检是颗粒外观缺陷检测； 第三道光检贴片/引线键合检测； 第四道光检是塑封外观检测。 国内三光机市场，2D AOI设备已实现完全替代，3D AOI设备国产化率仅10%-20%。包括矩子科技、长川科技、明锐理想、深圳格芯等。 2008年，长川科技成立。脱胎于士兰微的测试部门。长川科技测试机包括大功率测试机、模拟测试机、数字测试机。 2017年4月17日，深交所上市。 2018年，大基金投资后道测试设备领域的长川科技。 2019年，收购STI，其2D/3D高精度光学检测技术(AOI)居行业前列。万业企业作为装备材料基金背后的主要股东，间接持股长川。 2024年，测试机国产替代率超50%，分选机全球市占率约2%（全球第五），SOC测试机在高端市场加速突破。 2024年，矩子科技在三光机设备领域市场份额预计在35%左右。产品涵盖3D AOI、3D SPI等检测设备及控制线缆组件。
