半导体设备概念总结
单晶炉：晶升股份、沪硅产业、京运通；
热处理：北方华创；
电镀：盛美上海；
炉管：北方华创、盛美上海；
扩散设备：捷佳伟创；
刻蚀设备：
CCP电容性等离子体刻蚀设备：中微公司；
ICP电感性等离子体刻蚀设备：中微公司；
深硅刻蚀设备：中微公司、北方华创；
沉积薄膜：
PECVD：北方华创；
MOCVD：中微公司；
ALD：拓荆科技、微导纳米；
涂胶显影：芯源微；
离子注入设备：万业企业、北方华创；
CMP：华海清科、盛美上海；
半导体专用温控设备：京仪装备；
清洗设备：盛美上海、至纯科技、北方华创、芯源微、富乐德；
前道检测设备：中科飞测、精测电子、长川科技、华峰测控、迈为股份；
零部件：新莱应材、富创精密、江丰电子、晶盛机电、英杰电气、汉钟精机。
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