中国电科48所研制出完全对标国外设备性能的6英寸碳化硅外延炉。随着国家第三代半导

高旭的世界 2025-02-12 21:15:39

中国电科48所研制出完全对标国外设备性能的6英寸碳化硅外延炉。随着国家第三代半导体技术创新中心（湖南）的实体化运行，48所以外延、注入、氧化、激活等专用装备为核心，结合立式扩散炉、PVD等通用设备和半导体芯片生产线建线经验，实现国内唯一从碳化硅外延到芯片核心设备的全覆盖。 2024年8月，中国电科48所自主研发的8英寸碳化硅外延设备引入新的掺杂技术，提升良率降低成本。 2025年2月，中国电科48所SiC外延设备的首次大规模批量发货30台套 。

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