加速超纯水系统国产替代 1952年，中国有研科技集团有限公司成立。成员单位包括有研工研院、有研资环院、国合通测、国联研究院4家研究开发与科技服务实体，有研新材、有研粉材、有研半导体、火炬特材、有研复材等。 1999年，有研半导体硅材料股份公司成立，起源于有研集团半导体硅材料研究室。 2005年，有研硅实现集成电路刻蚀设备用硅材料产业化。 2018年以来，中国有研科技集团在山东德州投资近百亿元，落地7个项目、已投产4个。 2020年3月11日，山东有研艾斯半导体材料成立，有研硅参股有研艾斯加强对 12 英寸先进制程硅片的技术研发和战略布局。 2022年5月16日，有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目开工。两阶段投资完成并达产后可形成年产360万片12英寸硅片的产能，全国市场占有率达20%。 2023年10月，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目在德州天衢新区通线。 2025年3月，有研硅公告收购高频科技60%股权，加速超纯水系统国产替代。
